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Single-mode-resonance interference in photoresist sub-micron waveguide for high exposure depth nanolithography 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2016, 卷号: 154, 页码: 8-11
作者:  Yang, Zheng;  Zhang, Zhiyou;  Wu, Peng;  Xia, Liangping;  Yin, Shaoyun;  Du, Jinglei
收藏  |  浏览/下载：118/0  |  提交时间：2018/03/15
Lithography  Subwavelength  Nanostructure fabrication  Waveguide  Single-mode-resonance